Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Mit dünnen Schichten durch vier Jahrzehnte

Wie sie unsere Welt veränderten
Thin films through four decades - how they changed the world
 
: Bräuer, G.

:

Vakuum in Forschung und Praxis 30 (2018), Nr.2, S.26-33
ISSN: 0947-076X
ISSN: 1522-2454
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IST ()

Abstract
Zum Jubiläum der Zeitschrift “Vakuum in Forschung und Praxis” gehört ein Streifzug durch die Welt der dünnen Schichten, wie sie in den vergangenen Jahrzehnten unser Leben geprägt und verändert haben. Mit der industriellen Reife des Magnetronsputterns gegen Ende der 1970er Jahre waren die prozesstechnischen Grundlagen geschaffen worden, die der Dünnschichttechnik in den folgenden Jahrzehnten die Eroberung von Massenmärkten ermöglichte. Dies betrifft sowohl Fläche der zu beschichtenden Substrate als auch Stückzahlen. Reibungs‐, Verschleiß‐ und Korrosionsminderung, Architekturglas, optische und magnetische Datenspeicher, Displays und Touch Panels sowie Photovoltaik sind die wichtigsten unter den großen Anwendungsfeldern der vergangenen 40 Jahre. Dabei führte oft der Leidensdruck bei der Realisierung neuer Produkte zu Innovationen in der Prozesstechnik, und umgekehrt machten Meilensteine in der Verfahrensentwicklung neue Anwendungen möglich. Der vorliegende Beitrag lässt 40 Jahre Dünnschichttechnologie im Zeitraffer vorüberziehen. Er stellt die sicher unvollständige und subjektive Sicht des Autors dar, der 35 aufregende Jahre aus dieser Zeit zunächst im Entwicklungsbereich eines großen Beschichtungsanlagenbauers und später in der angewandten Forschung miterlebt hat.

 

The 30th anniversary of the journal “Vacuum in research and practice” is accompanied by a brief journey through the world of thin films and their impact on our life during the past decades. Around 40 years ago coating processes had been ready to find their way into mass markets related to large areas and quantity of substrates. Reduction of friction, wear and corrosion on tools and machine components, architectural glass, optical and magnetic data storage media, displays, touch panels and solar cells have been the most important application areas during the past four decades. Often ecxiting new products (like the CD) caused a paradigm change in the design of coating machines, or a milestone in process technology (like Pulse Magnetron Sputtering) enabled new applications. In this contribution several decades of thin film technology will pass in fast motion. The article reflects the perception of someone having experienced 35 very exciting years in industrial development as well as applied research related to thin films and their deposition. Certainly this perception is subjective and incomplete.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-490732.html