Fraunhofer-Gesellschaft

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Absolutinterferometrie mit durchstimmbaren Halbleiterlasern

Absolute interferometry with tunable semiconductor lasers
 
: Pfeifer, Tilo; Thiel, J.

:

Technisches Messen : TM 60 (1993), Nr.5, S.185-191
ISSN: 0340-837X
ISSN: 0171-8096 (Print)
ISSN: 2196-7113 (Online)
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPT ()
Interferometrie; Absolutinterferometrie; Abstandsmessung; Phasenmessung; Halbleiter

Abstract
Im Gegensatz zur konventionellen Längeninterferometrie mit frequenzstabilisierten HeNe-Lasern bietet die Absolutinterferometrie mit durchstimmbaren Halbleiterlasern die Möglichkeit, Abstände statisch ohne Verschieben des Meßreflektors zu bestimmen. Sämtliche kommerziellen Interferometer sind dagegen lediglich in der Lage, Weglängenänderungen zu messen, d.h. der Startpunkt der messung, auf den die nachfolgenden Meßwerte bezogen werden, ist unbekannt. Eine Strahlenutnerbrechung führt weiterhin zum Abbruch der messung, da der Bezug zu den vorangegangenen Meßwerten unwiederbringlich verloren ist. In dem Beitrag wird ein absolutinterferometrisches Verfahren vorgestellt, bei dem durch eine kontinuierliche Wellenlängenänderung eines Halbleiterlasers eine Änderung der Interferenzphase hervorgerufen wird. Diese Phasenänderung wird in Beziehung gesetzt zu der Phasenänderung, die in einem Referenzinterferometer mit konstanter Länge gemessen wird. Mit der Kenntnis der Referenzstreckenlänge läßt sich hinteraus der absolute Abstand berechnen.

 

In contrast to conventional length interferometry with frequency stabilized helium-neon-lasers the absolute interferometry with runable semiconductor lasers renders possible to detect distances in a static way without moving the measuring reflector. All commercial laser interferometers are only able to measure changes in the pathlengh of the interferometer. So the starting point of the measurement, to that the following measurement results are related, is unknown. An interruption of the laserbeam stops a measurement, beca use the relation to the preceding measurement results are irrecoserably lost. The report describes an absolute interferometric process, which causes a change of interference phase by continuuous turning of the waselength of a semicondoctur laser. This change of phase is related to that of an reference interferometer with constant length. With the knowledge of the reference length the absolute distance can be calculated.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-487614.html