Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Elektronik

 
: Bauer, Anton; Bär, Eberhard; Erlbacher, Tobias; Friedrich, Jochen; Lorenz, Jürgen; Rommel, Mathias; Schellenberger, Martin

Haas, Karl-Heinz; Tovar, Günter ; Fraunhofer Allianz Nanotechnologie -NANOTECH-, Würzburg:
Angewandte Nanotechnologie. Beispiele aus der Fraunhofer-Allianz Nanotechnologie
Stuttgart: Fraunhofer Verlag, 2018
ISBN: 978-3-8396-0918-7
S.98-115
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IISB ()
Nanotechnologie; Nanoelektronik; Halbleiterbauelement; Halbleiterprozesstechnik; Halbleiteranalytik; Kristallzüchtung; leistungselektronisches System

Abstract
Mikro- und nanoelektronische Schaltungen und Systeme fallen aufgrund der Gesamtabmessungen der Chips zwar zunächst nicht als Nanotechnologie ins Auge - Chips bestehen aber aus bis zu einigen Milliarden einzelner miteinander integrierter Bauelemente, die mittlerweile Abmessungen von bis unter 30 nm haben, bei Schichtdicken bis hinunter zu einem Nanometer. Die Herstellung, Funktionalität und Zuverlässigkeit mikro- und nanoelektronischer Systeme hängt von einer Vielzahl von Nanoeffekten ab. Insgesamt ist die Mikro- und Nanoelektronik für viele industrielle Branchen in Deutschland und Europa eine Schlüsselindustrie. Wegen der technologischen Komplexität erfordert die Forschung auf diesem Gebiet breite Kooperationen zwischen Industrie, Instituten und Universitäten. Fraunhofer-Institute wie das IISB und das ENAS tragen wesentlich zur Forschung und Anwendung in diesem Gebiet bei.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-487199.html