Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Strukturierungsverfahren

 
: Fader, Robert; Lorenz, Jürgen; Rommel, Mathias; Baum, Mario; Danylyuk, Serhiy; Gillner, Arnold; Stollenwerk, Jochen; Bläsi, Benedikt

Haas, Karl-Heinz; Tovar, Günter ; Fraunhofer Allianz Nanotechnologie -NANOTECH-, Würzburg:
Angewandte Nanotechnologie. Beispiele aus der Fraunhofer-Allianz Nanotechnologie
Stuttgart: Fraunhofer Verlag, 2018
ISBN: 978-3-8396-0918-7
S.72-96
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IISB ()
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer ILT ()
Fraunhofer ISE ()
Nanotechnologie; EUV; Laser; Laserstrukturierung; Laser-Interferenzlithographie; Nanoimprint-Lithographie; UV-SCIL; FIB; fokussierter Ionenstrahl

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-487173.html