Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Piezoresistive co-efficient of diamond-like carbon films

 
: Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.

16th MicroMechanics Europe Workshop, MME 2005. Proceedings
Göteborg: InformTrycket AB, 2005
ISBN: 91-631-7553-3
S.191-194
MicroMechanics Europe Workshop (MME) <16, 2005, Göteborg, Sweden>
Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems <16, 2005, Göteborg>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-48651.html