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Konferenzschrift
Wasserstoffdotierung von ZnO:Al-Schichten aus keramischen Targets
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2005
Conference Paper
Titel
Wasserstoffdotierung von ZnO:Al-Schichten aus keramischen Targets
Author(s)
Ruske, F.
Sittinger, V.
Werner, W.
Szyszka, B.
Osten, K.U. van
Hauptwerk
TCO für Dünnschichtsolarzellen und andere Anwendungen III
Konferenz
Workshop "TCO-Schichten für Dünnschichtsolarzellen und andere Anwendungen" 2005
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST