Fraunhofer-Gesellschaft

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Eigenschaften von Samariumsulfidschichten für Sensoranwendungen

 
: Delan, A.; Ngoumeni, R; Vondkar, K; Glöß, D.; Gerlach, G.

:
Volltext (PDF; )

AMA Service GmbH, Wunstorf:
13. Dresdner Sensor-Symposium 2017 : 2017-12-04 - 2017-12-06, Hotel Elbflorenz, Dresden
Wunstorf: AMA, 2017
ISBN: 978-3-9816876-5-1
S.243-247
Dresdner Sensor-Symposium <13, 2017, Dresden>
Deutsch
Konferenzbeitrag, Elektronische Publikation
Fraunhofer FEP ()
Samariumsulfid; Magnetron-Sputtern; SmS-Target; optische und elektrische Eigenschaft; EDX

Abstract
Samariummonosulfid (SmS) ist ein Typ-n-Halbleiter mit einer Energielücke von etwa 0,2 eV. Es weist eine Reihe besonderer Eigenschaften hinsichtlich seiner Energiebandstruktur auf, aus der sich ein starker Einfluss mechanischer Effekte auf den Widerstand und ausgezeichnete optische Schalteigenschaften ergeben. Damit ist SmS für verschiedene Anwendungen in der Sensorik (z.B. Drucksensoren, Dehnungsmessstreifen) und in der Optik interessant. Dieser Beitrag stellt die Herstellung von SmS-Targets für die Abscheidung dünner SmS-Schichten mittels Magnetron-Sputtern vor. Die SmS-Schichten werden bzgl. der Stöchiometrie und der elektrischen und optischen Eigenschaften charakterisiert und Sensoranwendungen diskutiert.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-476818.html