Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Untersuchung von dreidimensionalen Nanoelektroden für die intrazelluläre Kontaktierung auf integrierten Schaltungen

Analysis of three dimensional nanoelectrodes for intracellular contacts on integrated circuits
 
: Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger;

Verband Deutscher Elektrotechniker e.V. -VDE-, Berlin; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
MikroSystemTechnik Kongress 2017. Proceedings : MEMS, Mikroelektronik, Systeme, 23.-25. Oktober 2017 in München
Berlin: VDE Verlag, 2017
ISBN: 978-3-8007-4491-6
S.540-543
MikroSystemTechnik Kongress <2017, München>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS ()
Nanoelektrode; atomic layer deposition (ALD); deep reactive ion etching (DRIE)

Abstract
Der vorliegende Beitrag befasst sich mit der Entwicklung CMOS-kompatibler Nanoelektroden für elektrische Messungen und Stimulationen in biomedizinischen Anwendungen. Der Herstellungsprozess von 3D-Nanoelektroden umfasst ein reaktives Ionentiefenätzen in einer Opferschicht, eine Atomlagenabscheidung des Elektrodenmaterials Ruthenium und eine Freilegung der Elektroden mittels isotropem Gasphasenätzen. Ruthenium-Nanoelektroden, welche in Clustern– auch Nanorasen genannt – angeordnet sind, werden anhand von elektrochemischer Impedanzspektroskopie und Zyklovoltammetrie charakterisiert. Für die Realisierung von penetrierenden Zellkontakten sind geometrische Optimierungen notwendig. Die Nanoelektroden werden post-lithographisch verjüngt und stabilisiert.

 

Nanoelectrodes for electrical measurements and stimulation of cells in biomedical applications are investigated. The fabrication process of the 3D-Nanostructures is described, including deep reactive ion etching in a sacrificial layer, atomic layer deposition of ruthenium as an electrode material and the release of the electrodes via isotropic vapor etching. Ruthenium nanoelectrodes which are arranged in clusters, called nanolawn, are characterized using electrochemical impedance spectroscopy and cyclic voltammetry. For realizing a penetrating contact, the electrodes’ geometry is modified. The nanoelectrodes are tapered post-lithographically and stabilized.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-473495.html