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Verfahren zum Herstellen eines Schichtverbundes bestehend aus einer Kunststofffolie und einer darauf abgeschiedenen Schicht

Method for producing a laminated composite consisting of a film of plastic material and a layer deposited thereon
 
: Drese, Hendrik; Fahlteich, John; Schwarz, Wolfgang; Rögner, Frank-Holm; Schiller, Nicolas

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DE 102015122024 A1: 20151216
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer FEP ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Schichtverbundes aus einer Kunststofffolie und mindestens einer unmittelbar auf der Kunststofffolie mittels chemischer Dampfabscheidung innerhalb einer Vakuumkammer abgeschiedenen Schicht, welche einen mindestens 20-prozentigen Masseanteil eines metallenen Elements oder eines Halbleiterelements aufweist, wobei während der Schichtabscheidung zumindest ein Monomer in die Vakuumkammer eingelassen und ein Plasma innerhalb der Vakuumkammer ausgebildet wird. Erfindungsgemäß wird die Schicht nach erfolgter Schichtabscheidung zumindest in einem Oberflächenbereich mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-461703.html