Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Global flatness of spatial light modulators

 
: Wagner, M.; Künzelmann, U.; Schenk, H.; Lakner, H.

:

Ürey, H. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
MOEMS display, imaging, and miniaturized microsystems IV : 25 - 26 January 2006, San Jose, California, USA
Bellingham/Wash.: SPIE, 2006 (SPIE Proceedings Series 6114)
ISBN: 0-8194-6156-3
Paper 611404
Conference "MOEMS, Display, Imaging, and Miniaturized Microsystems" <4, 2006, San Jose/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPMS ()
MOEMS; micromirror; surface profile; global flatness; packaging

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-45452.html