Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Extended damping model for out-of-plane-comb driven micromirrors

 
: Klose, T.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.

Ürey, H. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
MOEMS display, imaging, and miniaturized microsystems IV : 25 - 26 January 2006, San Jose, California, USA
Bellingham/Wash.: SPIE, 2006 (SPIE Proceedings Series 6114)
ISBN: 0-8194-6156-3
Paper 61140J
Conference "MOEMS, Display, Imaging, and Miniaturized Microsystems" <4, 2006, San Jose/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPMS ()
MEMS; scanning micromirror; comb drive; damping

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-45420.html