Fraunhofer-Gesellschaft

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Optimierung der Mikrostruktur und der Messparameter eines photostimulierten Ozonsensors auf der Basis von Indiumoxid

 
: Mischo, Markus
: Paul, O.; Ambacher, O.; Krischok, S.

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Volltext urn:nbn:de:0011-n-4526630 (157 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: 6dfdaf62e63b28678443bc54d00d066d
Erstellt am: 23.06.2019

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Stuttgart: Fraunhofer Verlag, 2017, 117 S.
Zugl.: Freiburg, Univ., Diss., 2016
Science for systems, 33
ISBN: 978-3-8396-1213-2
Deutsch
Dissertation, Elektronische Publikation
Fraunhofer IAF ()
environmental monitoring; engineering measurement & calibration; Gassensor; Halbleiter; Indiumoxid; Luftfeuchte; Stabilität; Mikrosystemtechniker; Physiker

Abstract
Ozon ist ein gesundheitsschädliches Gas, welches besonders die Augen und Atemwege angreift. Das bodennahe Ozon stellt somit eine direkte Bedrohung für die menschliche Gesundheit dar. Zudem kann sich der Ozongehalt lokal relativ stark unterscheiden. Eine lokale flächendeckende Überwachung der Ozonkonzentration wäre demnach wünschenswert. Dies ist jedoch bisher aus Mangel an geeigneten Sensoren nicht möglich. Die besten Voraussetzungen für einen solchen tragbaren Sensor bringt ein photostimulierter Halbleitersensor mit. Dieser benötigt jedoch lange Messzeiten und weist eine schlechte Stabilität des Messsignals unter Einfluss von Luftfeuchte auf. Durch eine eingehende Analyse der Mikrostruktur des Sensors werden die Gründe für das instabile Verhalten offengelegt. Zusätzlich können die Sensoren durch eine nachträgliche Wärmebehandlung optimiert werden. Durch das Einführen neuer Messparameter kann die Stabilität des Messsignals erhöht sowie die Messzeit reduziert werden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-452663.html