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Title
Verfahren und Vorrichtung zum mobilen und synchronen Bestimmen von Struktur und chemischen Elementen aus durch Roentgenstrahlen generierten Fluoreszenz- und Beugungserscheinungen an kristallinen Prueflingen, Bauteilen oder dergleichen
Date Issued
2002
Author(s)
Kaempfe, B.
Arnhold, R.
Hannig, W.
Patent No
2001-10112201
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum mobilen und synchronen Bestimmen der Struktur und der chemischen Elemente von kristallinen Prueflingen, Bauteilen o. dgl. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art derart zu verbessern, dass die gleichzeitige Bestimmung von Strukturparametern, Gefuegeparametern und chemischen Elementen die Flexibilitaet und Mobilitaet erhoeht, einschraenkende Bedingungen an Geometrie und Masse der Pruefteile weitgehend aufgehoben, die Messzeiten wesentlich verringert, die Robustheit der Einrichtungen bei gleichzeitiger Verringerung ihrer mechanischen Anfaelligkeit erhoeht und die Anwendung der Prozessanalytik vor Ort ermoeglicht wird. Geloest wird diese Aufgabe dadurch, dass der Schnittpunkt aus primaeren Roentgenstrahlen und den zu detektierenden sekundaeren Roentgenstrahlen durch eine Translationsbewegung in der Strahlenebene auf der oder in die Prueflingsoberflaeche unter sukzessiver Veraenderung des Abstandes zwischen Roentgenquelle und Detektor(en), jedoch unter Beibehaltung eines oder mehrerer zwischen Primaerstrahl und Sekundaerstrahl eingeschlossenen(er) konstanten(er) Winkels (Winkel) von Messpunkt zu Messpunkt so justiert wird, dass an den jeweiligen Messpunkten ein Intensitaetsmaximum der Sekundaerstrahlung erreicht wird, dann die spektrale Verteilung der emittierten und abgebeugten Sekundaerstrahlung fuer die einzelnen Messpunkte separat bestimmt wird und die den einzelnen ...
DE 10162113 A UPAB: 20030619 NOVELTY - The method involves generating fluorescence spectral and diffraction events in the object with parallel x-rays, receiving secondary radiation and determining its spectral distribution. The primary-secondary beam intercept point is adjusted by varying the x-ray source-detector distance while maintaining a constant angle(s) between the primary and secondary radiation from point to point to achieve a secondary beam intensity maximum at each point. DETAILED DESCRIPTION - The method involves directing paralleled x-rays towards the object surface, generating fluorescence spectral and diffraction events in the object, receiving them as secondary radiation and determining their spectral distribution. The intercept point of the primary and secondary radiation is adjusted by varying the distance between the x-ray source and detectors while maintaining one or more constant angles between the primary and secondary radiation from measurement point to measurement point to achieve a secondary radiation intensity maximum at each measurement point. AN INDEPENDENT CLAIM is also included for the following: an arrangement for implementing the inventive method. USE - For mobile asynchronous determination of structure and chemical elements of crystalline test objects. ADVANTAGE - Improved for increased flexibility and mobility and to substantially remove limitations on geometry and mass of test objects.
Language
de
Patenprio
DE 2001-10112201 A1: 20010309