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Verfahren zur Herstellung elektromechanischer Wandler

Production of an electromagnetic converter containing piezoelectric ceramic material useful for scanning electron microscopes.
 
: Helbig, J.; Heinrich, K.; Petricevic, R.; Reigl, H.; Gurka, M.

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DE 2002-10218936 A: 20020427
DE 2002-10218936 A: 20020427
DE 10218936 B4: 20040304
H01L0041
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ISC ()

Abstract
(A1) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung elektromechanischer Wandler, wobei in eine Form ein Schichtstapel (1, 2, 3, 4) eingebracht wird, bei dem aus einem piezoelektrischen keramischen Material hergestellte Fasern (3) mit einer auf einer Traegerschicht (1) vorgesehenen Elektrode (2) in Kontakt sind, und wobei anschliessend die Fasern (3) mit einer aus einem Kunststoff hergestellten Matrix umgeben werden. Zur Verbesserung des elektrischen Kontakts zwischen der Faser (3) und der Elektrode (2) sowie zur Vereinfachung des Verfahrens werden erfindungsgemaess die folgenden Schritte vorgeschlagen: a) Versehen des Schichtstapels (1, 2, 3, 4) mit einer aus einem thermoplastischen Kunststoff hergestellten Schicht (4), b) Ueberfuehren des thermoplastischen Kunststoffs in einen viskoelastischen Zustand durch Temperaturerhoehung, c) Verpressen des thermoplastischen Kunststoffs im viskoelastischen Zustand durch Aufbringen eines Drucks auf den Schichtstapel (1, 2, 3, 4) und d) Abkuehlen und Entformen des Schichtverbunds.

 

DE 10218936 A UPAB: 20040218 NOVELTY - A process for production of an electromagnetic converter, in the form of a lamination) (1, 2, 3, 4), in which fibers (3) from a piezoelectric ceramic material make contact with electrodes (2) on a support layer (1), and the fibers (3) are enveloped by a plastic material which can flow, which is hardened to form a matrix is new. DETAILED DESCRIPTION - A process for production of an electromagnetic converter, in the form of a lamination) (1, 2, 3, 4), in which fibers (3) from a piezoelectric ceramic material make contact with an electrode (2) on a support layer (1), and the fibers (3) are enveloped by a plastic material (PM) which can flow, which is hardened to form a matrix. In this process: (a) the PM in the viscoelastic state has a storage modulus G' at 1 Hz greater than 1 Pa, preferably greater than 1000 Pa, a storage modulus G' at 1 Hz = greater an 100 Pa, preferably greater than 5000 Pa, (b) the PM is pressed in the viscoelastic state by application of a pressure to the lamination), and (c) the PM is reinforced and the laminate formed is removed from the opened mold. USE - The converter is useful as an electromechanical transducer. ADVANTAGE - The converter can be produced quickly and cost effectively, has improved mechanical and piezoelectric quality, is flexible, and the electrodes can be easily applied by screen printing.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-44689.html