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Thermoelektrische Gas- und Stroemungssensoren

Gas and/or flow sensor for determining gases e.g. in gas mixtures, comprises thermocouples with n-conducting and p-conducting doped sections arranged on substrate, and contacts for voltage.
 
: Lambrecht, A.; Woellenstein, J.

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DE 2002-10212167 A: 20020319
DE 2002-10212167 A: 20020319
DE 10212167 A1: 20031016
H01L0035
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPM ()

Abstract
Die Erfindung betrifft kostenguenstige Sensoren fuer die Gas- und Stroemungssensorik, die in der Produktions- und Prozessmesstechnik, im Automobilbereich, in der Sicherheitstechnik und in der Klima- und Umweltsensorik eingesetzt werden koennen. Diese Gas- und/oder Stroemungssensoren weisen mindestens zwei auf einem Substrat angeordneten Thermopaare mit n-leitend und p-leitend dotierten Abschnitten sowie mindestens zwei zum Abgreifen der Spannung vorgesehene Kontakte auf.Von den n- und p-leitend dotierten Abschnitten besteht mindestens eine aus einem thermoelektrischen Oxid. Gleichzeitig ist mindestens ein n-leitend und p-leitend dotierter Abschnitt der Thermopaare zumindest bereichsweise gassensitiv ausgebildet und die Thermopaare weisen einen Temperaturgradienten auf, der ueber ein Heizelement erzeugbar ist. Verbunden mit dem Temperaturgradienten weisen die Thermopaare somit eine Thermospannung auf, die ueber die beschriebenen Kontakte abgegriffen werden kann.

 

DE 10212167 A UPAB: 20031125 NOVELTY - A gas and/or flow sensor comprises thermocouples (6, 7) with n-conducting and p-conducting doped sections (8, 9, 12, 13) arranged on a substrate (1), and contacts (2) for the voltage. The doped sections are made from at least one thermoelectric oxide. At least one section is gas-sensitive and the thermocouples have a temperature gradient produced via a heating element and have a thermo-voltage. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for the quantitative determination of gases using the above sensor. Preferred Features: At least one section is gas-sensitive in several defined regions separated from each other. At least one thermocouple is made from a gas-sensitive material with a layer of gas-insensitive material or is made from a gas-insensitive material with a layer of gas-sensitive material. The thermoelectric oxide is made from SnC2, Co3O4, NiO, WO3, V2O5, Ga2O3, Cr2-xTixO3, NaCo2O4, CaCoO3, Skutterudite, semiconducting silicide and semiconductor alloys. USE - Used for determining gases e.g. in gas mixtures, for measuring the flow of gases and fluids, and in production and process measurement technology, e.g. in the automobile industry, in security technology and in environmental technology (claimed). ADVANTAGE - The sensor has reduced cross-sensitivity.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-44246.html