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Verfahren zur Herstellung von leitfaehigen transparenten Strukturen sowie Verwendung von transparenten, leitfaehigen Oxidschichten zur Strukturierung von leitfaehigen, transparenten Bereichen

Production of an electrical and optical structure on a substrate used in the production of electrical switching elements involves using a laser beam.
 
: Klages, C.; Matthee, T.; Neumann, F.; Szyszka, B.

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DE 2000-10005330 A: 20000208
DE 2000-10005330 A: 20000208
EP 2001-102970 A: 20010208
DE 10005330 A1: 20010906
EP 1124264 A2: 20010816
H05K0003
H01L0031
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IST ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur elektrischen und optischen Strukturierung von Substratmaterialien unter Einwirkung von Laserstrahlung sowie die Verwendung von transparenten, leitfaehigen Oxidschichten und titan- und niobhaltigen Schichten zur Strukturierung von leitfaehigen, transparenten Bereichen unter Ausbildung von beispielsweise Leiterbahnen, leitfaehigen Flaechen, optisch transparenten Fasern und Fenstern auf transparenten Substraten.

 

EP 1124264 A UPAB: 20020508 NOVELTY - Production of an electrical and optical structure on a substrate comprises using a laser beam. DETAILED DESCRIPTION - Preferred Features: The substrate is made of indium-tin oxide layer system built up from InO and SnO layers or InO and Sn layers. The conducting pathway formed from the layer system is reinforced by applying a metal. The laser is Nd:YAG laser. The substrate is etched after being subjected to the laser beam. USE - Used in the production of electrical switching elements. ADVANTAGE - The structure can be easily produced.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-44126.html