Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Development of metal oxide processes for highly conformal thin layers by plasma enhanced atomic layer deposition

 
: Kia, Alireza Mohammadian
: Hiller, Karla; Weinreich, Wenke

Chemnitz, 2017, III, 90 S. + 2 S. Anhang
Chemnitz, TU, Master Thesis, 2017
Englisch
Master Thesis
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-438977.html