Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Mikrobump-Entwicklung mit einem Pitch von 6 μm unter Verwendung eines Ionenstrahlätzprozesses

 
: Heß, Jennifer
: Vogt, Holger; Schmechtel, Roland

:
Volltext (PDF; )

Duisburg-Essen, 2014, XXXII, 129 S.
Duisburg-Essen, Univ., Diss., 2014
URN: urn:nbn:de:hbz:464-20141013-145135-7
Deutsch
Dissertation, Elektronische Publikation
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-438692.html