Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Novel TSV metallization and simplified ECD processes for ultra-large scale integration (ULSI) technology

 
: Esmaeili Dehkalani, M. Sajjad
: Lilienthal, Katharina; Adelung, Rainer

Kiel, 2017, XIII, 71 S., Anhang A - I
Kiel, Univ., Master Thesis, 2017
Englisch
Master Thesis
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-438249.html