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2005
Conference Paper
Titel
Untersuchungen an ebenen aerostatischen Gaslagerelementen für hochvakuumtaugliche Präzisionsführung
Abstract
Für vakuumangepasste ebene aerostatische Düsenlagerelemente mit Mikroverteilerstrukturen wird der signifikante Einfluss des Drosselquerschnittes auf die Lagereigenschaften und die Vakuumtauglichkeit der Lagerelemente nachgwiesen. Ein analytisches Modell, dass die Abströmverhältnisse im Vakuum berücksichtigt, wird mittels experimenteller Untersuchnugen verifiziert.