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Vorrichtung und Verfahren zur thermo-optischen Untersuchung von Proben

Device and method for the thermo-optical examination of samples
 
: Meinhardt, Jürgen; Diegeler, Andreas; Maleska, Philipp; Maas-Diegeler, Gabriele; Muff, Heiko

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DE 102015214292 A1: 20150728
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ISC ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur thermooptischen Untersuchung von Proben. Die Vorrichtung weist zwei Sichtöffnungen auf, welche jeweils mit einem Sichtvakuumflansch vakuumdicht verschlossen sind. Innerhalb des Klimaschrankes zwischen den Sichtvakuumflanschen ist ein Probenteller angeordnet. Zudem sind mindestens eine Lichtquelle und mindestens ein Lichtdetektor außerhalb des Klimaschrankes so angeordnet, dass mindestens eine von einer Lichtquelle zu einem Lichtdetektor verlaufende optische Sichtachse durch die jeweils zwei Sichtfenster der zwei Sichtvakuumflansche und durch eine auf dem Probenteller angeordnete Probe verläuft. Die vorliegende Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zur thermo-optischen Untersuchung von Proben mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-435333.html