Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Hochgeschwindigkeitsmikroskopie zur Qualitätskontrolle

Piezoantriebe im echtzeitfähigen Autofokus-System
 
: Schenk, Friedrich; Arnold, Steffen; Reiff, Ellen-Christine

Elektronik, Produktion und Prüftechnik : EPP (2016), Nr.5/6, S.56-58
ISSN: 0172-6250
ISSN: 0943-0962
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPT ()
Automatisierung; Bildverarbeitung; Fertigungsmesstechnik; machine vision; Messtechnik; metrology; optical metrology

Abstract
In der Halbleiter- und Elektronikfertigung ist der Bedarf an mikroskopischen Prüfverfahren aufgrund des hohen Miniaturisierungsgrades sehr groß. Ähnliche Anforderungen haben auch andere Bereiche wie zum Beispiel die Biotechnologie oder Pharmazie. Konventionelle Mikroskopie-Verfahren können hier jedoch - vor allem wenn hohen Auflösung gefordert ist - nicht mit der Geschwindigkeit der heute üblichen Automatisierungstechnik Schritt halten. Dank neuer Hochdurchsatz-Mikroskopiesysteme hat sich das nun geändert. Piezoaktoren als Antriebe in ihren echtzeitfähigen Autofokus-Sytemen spielen dabei eine Schlüsselrolle.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-426558.html