Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Reaktives Ionenätzen zur Mehrfachstrukturierung und Elektrodentrennung für Kondensatoranwendungen in der Halbleiterindustrie

 
: Pätzold, Björn
: Hohle, Christoph; Rudolph, Matthias; Rennekamp, Reinhold

:
Volltext urn:nbn:de:0011-n-4264880 (3.9 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: af546469f0816c1a12bd6388fbd7a9ae
Erstellt am: 4.1.2017


Dresden, 2016, III, 94 S., IX
Dresden, Hochschule für Technik und Wirtschaft, Master Thesis, 2016
Deutsch
Master Thesis, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-426488.html