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Flächendetektor für EUV- und/oder weiche Röntgenstrahlung

 
: Herbert, Stefan; Juschkin, Larissa; Danylyuk, Serhiy; Müller, Bernhard

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DE 102015210361 A1: 20150605
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ILT ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Flächendetektor für EUV- und/oder weiche Röntgenstrahlung der ein im sichtbaren Spektralbereich empfindliches Array aus Detektorelementen aufweist, vor dem eine Schicht aus einem Leuchtstoff angeordnet ist, der einfallende EUV- und/oder weiche Röntgenstrahlung in Sekundärstrahlung im sichtbaren Spektralbereich wandelt. Bei dem vorgeschlagenen Flächendetektor ist die Schicht auf einem optischen Element aufgebracht oder als optisches Element ausgebildet, das die Divergenz der vom Leuchtstoff vor dem jeweiligen Detektorelement erzeugten Sekundärstrahlung in Richtung des Detektorelementes verringert. Der vorgeschlagene Flächendetektor lässt sich kostengünstig realisieren und weist eine hohe räumliche Auflösung bei gleichzeitig hoher Auslesegeschwindigkeit auf, so dass er sich vor allem bei Anwendungen mit hohem Durchsatz vorteilhaft einsetzen lässt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-426317.html