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Strahlungsdetektor, Array von Strahlungsdetektoren und Verfahren zur Herstellung eines Strahlungsdetektors

Radiation detector, array of radiation detectors and method for producing a radiation detector
 
: Weiler, Dirk; Muckensturm, Kai-Marcel; Hochschulz, Frank

:
Frontpage ()

DE 102015208073 A1: 20150430
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IMS ()

Abstract
Es wird ein Strahlungsdetektor mit einem Substrat und einer Membran, die über einen Abstandshalter oberhalb des Substrats aufgehängt ist beschrieben, wobei der Abstandshalter einen in der Membran gebildeten Strahlungssensor gegenüber dem Substrat thermisch isoliert. Ferner umfasst der Abstandshalter eine erste Schicht, die elektrisch leitend ist und einen ersten Pol des Strahlungssensors und des Substrats kontaktiert und eine zweite Schicht, die elektrisch leitend und von der ersten elektrisch leitfähigen Schicht elektrisch isoliert ist und einen zweiten Pol des Strahlungssensors und des Substrats kontaktiert, wobei sich der zweite Pol in der Polarität vom ersten Pol unterscheidet.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-426299.html