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Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Topografie einer Oberfläche

 
: Werling, Stefan; Stephan, Thomas

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DE 102015203396 A1: 20150225
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IOSB ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) mit einer ersten Bilderfassungseinrichtung (11) mit einem ersten Erfassungsbereich (21) und einer zweiten Bilderfassungseinrichtung (12) mit einem zweiten Erfassungsbereich (22), wobei der erste Erfassungsbereich (21) und der zweite Erfassungsbereich (22) zumindest teilweise überlappen, und die Vorrichtung weiterhin zumindest eine Lichtquelle (31, 32, 33) aufweist, welche dazu eingerichtet ist, Licht aus unterschiedlichen Einfallsrichtungen in zumindest einen Erfassungsbereich (21, 22) zu emittieren. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Bestimmung der Topografie einer Oberfläche (50) eines Prüflings (5).

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-423108.html