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Verfahren und Vorrichtung zur hochgenauen optischen Messung an Objekten mit anhaftenden fluidischen Schichten

Method and device for highly accurate optical measurement on objects with adhering fluid layers
 
: Noll, Reinhard; Kämmerling, Jann

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Frontpage ()

DE 102015202470 A1: 20150212
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ILT ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur hochpräzisen optischen Messung an Objekten mit anhaftenden fluidischen Schichten, bei denen die optische Messung am Objekt ortsselektiv mit optischer Messstrahlung erfolgt, wobei die fluidische Schicht am Ort der jeweiligen optischen Messung durch lokale Erwärmung mit weiterer elektromagnetischer Strahlung für die Dauer der Messung transient in der Dicke verringert wird. Auf diese Weise wird die Messunsicherheit für die Geometriemessung erheblich verbessert, ohne die fluidischen Schichten vor der Messung entfernen zu müssen.

 

The present invention relates to a method and a device for high-precision optical measurement on objects (1) with adhering fluid layers (10), in which the optical measurement on the object (1) is carried out in a locally selective manner using optical measuring radiation (4, 4'), wherein the fluid layer (10) at the location (6) of the respective optical measurement is transiently reduced in thickness (13) by means of local heating using additional electromagnetic radiation (12, 12') for the duration of the measurement. In this way, the measurement uncertainty for the geometric measurement is substantially improved without having to remove the fluid layers (10) prior to the measurement.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-423105.html