Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Extending VLSI and alternative technology with optical and complementary lithography

 
: Lai, K.; Erdmann, A.

:
Volltext (PDF; )

Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS 15 (2016), Nr.2, 2 S.
ISSN: 1537-1646
ISSN: 1932-5150
ISSN: 1932-5134
Englisch
Zeitschriftenaufsatz, Elektronische Publikation
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-422975.html