Fraunhofer-Gesellschaft

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Quantification and reduction of deformations in multilayer soft-NIL stamps

Poster presented at NNT 2016, 15th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology, September 26-28, 2016, Braga, Portugal
 
: Förthner, Michael; Papenheim, Marc; Rumler, Maximilian; Stumpf, Florian; Baier, Leander; Rommel, Mathias; Schlachter, Florian; Hornung, Michael; Scheer, Hella-Christin; Frey, Lothar

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Poster urn:nbn:de:0011-n-4175581 (1.4 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: ea1411faf77c37a23c3f04a702e9fcd6
Erstellt am: 26.10.2016


2016, 1 Folie
International Conference on Nanoimprint & Nanoprint Technology (NNT) <15, 2016, Braga>
Deutsche Forschungsgemeinschaft DFG
FR-713/10-1
Bragg-Gitter-Sensoren auf Basis von Hybridpolymeren - Grundlegende Untersuchungen und Realisierung
Englisch
Poster, Elektronische Publikation
Fraunhofer IISB ()
nanoimprint; composite stamp; stamp deformation; soft-NIL

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-417558.html