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Vorrichtung zum Erzeugen eines Hohlkathodenbogenentladungsplasmas

 
: Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Decker, Ludwig; Werner, Torsten; Flaske, Henrik

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Frontpage ()

DE 102015101294 A1: 20150129
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer FEP ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Hohlkathodenbogenentladungsplasmas, umfassend zwei gegenüberliegend angeordnete Hohlkathoden (11; 12), wobei die Hohlkathoden (11; 12) an einen Pulsgenerator (15) angeschlossen sind, der zwischen den beiden Hohlkathoden (11; 12) eine bipolare, gepulste Spannung erzeugt. Dabei sind der Raum zwischen den beiden Hohlkathoden (11; 12) entlang der verlängerten Hohlkathodenachsen (13) und die beiden Hohlkathoden (11; 12) zumindest teilweise von einer Blende (14) umschlossen, wobei die Blendenfläche mindestens eine Öffnung (18) aufweist.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-415260.html