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Title
Trägersystem für mikrooptische und/oder andere Funktionselemente der Mikrotechnik
Date Issued
2016
Patent No
102015200123
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Trägersystem für mikrooptische und/oder andere Funktionselemente der Mikrotechnik, das eine Grundplatte und ein oder mehrere darauf fixierte Halteelemente für die Funktionselemente aufweist. Das vorgeschlagene Trägersystem zeichnet sich dadurch aus, dass die Halteelemente teilweise oder vollständig aus mehreren dünnen gestapelten Platten aufgebaut sind, die eine Plattendicke von weniger als 1 mm aufweisen. Auf diese Weise lassen sich bspw. Halteelemente aus Glas oder Glaskeramik mit hoher Genauigkeit und nahezu beliebigen geometrischen Formen realisieren.
Language
de
Patenprio
DE 102015200123 A1: 20150108