Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Application of FTIR Microscopy for Process Monitoring in Silicon Microreactors

 
: Löbbecke, S.; Schweikert, W.; Türcke, T.; Antes, J.; Marioth, E.; Krause, H.

Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-:
MICRO.tec 2000. VDE World Microtechnologies Congress: Applications - Trends - Visions. Proceedings. Vol.2
Berlin: VDE-Verlag, 2000
ISBN: 3-8007-2579-7
S.789-792
World Microtechnologies Congress (MICROTEC) <2000, Hannover>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ICT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-3982.html