Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Application of FTIR Microscopy for Process Monitoring in Silicon Microreactors
| Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-:
MICRO.tec 2000. VDE World Microtechnologies Congress: Applications - Trends - Visions. Proceedings. Vol.2
Berlin: VDE-Verlag, 2000
ISBN: 3-8007-2579-7
S.789-792 |
| World Microtechnologies Congress (MICROTEC) <2000, Hannover> |
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| Englisch |
| Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer ICT () |