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Konferenzschrift
Zuverlässigkeitsbewertung von MEMS-Komponenten im Mikro-Nano-Übergangsbereich
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2003
Conference Paper
Titel
Zuverlässigkeitsbewertung von MEMS-Komponenten im Mikro-Nano-Übergangsbereich
Author(s)
Michel, B.
Winkler, T.
Auersperg, J.
Hauptwerk
Mikrosystemtechnik Chemnitz '03. Mikromechanik & Mikroelektronik
Konferenz
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 2003
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM