Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern - HIPIMS

 
: Bandorf, R.

Ostbayerisches Technologie-Transfer-Institut e.V. -OTTI-, Regensburg:
OTTI-Seminar Kathodenzerstäubung - Sputtering : 20. bis 21. Februar 2013 in Braunschweig
Regensburg: OTTI, 2013
S.113-140
Seminar "Kathodenzerstäubung - Sputtering" <2013, Braunschweig>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-393974.html