Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Hohlkathoden-Entladungen

 
: Jung, T.

Ostbayerisches Technologie-Transfer-Institut e.V. -OTTI-, Regensburg:
OTTI-Seminar Kathodenzerstäubung - Sputtering : 20. bis 21. Februar 2013 in Braunschweig
Regensburg: OTTI, 2013
S.57-79
Seminar "Kathodenzerstäubung - Sputtering" <2013, Braunschweig>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-393972.html