Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Influence of SiH4 on the WN4-PECVD process

 
: Ecke, R.; Schulz, S.E.; Hecker, M.; Mattern, N.; Gessner, T.

Thomas, O.:
Materials for advanced metallization : Proceedings of the European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2003 : La Londe Les Maures, France, March 9 - 12, 2003
Amsterdam: Elsevier, 2003 (Microelectronic engineering 70.2003, 2/4)
S.346-351
European Workshop on Materials for Advanced Metallization (MAM) <2003, La Londe Les Maures, France>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-39388.html