Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Thermal conductivity of ultra low-k dielectrics
| Thomas, O.:
Materials for advanced metallization : Proceedings of the European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2003 : La Londe Les Maures, France, March 9 - 12, 2003
Amsterdam: Elsevier, 2003 (Microelectronic engineering 70.2003, 2/4)
S.280-284 |
| European Workshop on Materials for Advanced Metallization (MAM) <2003, La Londe Les Maures, France> |
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| Englisch |
| Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer IZM () |