Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

CVD TiN layers as diffusion barrier films on porous SiO2 aerogel

 
: Bonitz, J.; Schulz, S.E.; Gessner, T.

Thomas, O.:
Materials for advanced metallization : Proceedings of the European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2003 : La Londe Les Maures, France, March 9 - 12, 2003
Amsterdam: Elsevier, 2003 (Microelectronic engineering 70.2003, 2/4)
S.330-336
European Workshop on Materials for Advanced Metallization (MAM) <2003, La Londe Les Maures, France>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-39375.html