Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Überwachung der Oberflächenreinheit von Bauteilen und Einrichtungen im reinen Umfeld

Contamination Measurement Technologies for Surfaces in Cleanrooms
 
: Grimme, R.; Rochowicz, M.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
CleanRooms Europe 2000. Conference proceedings
Frankfurt/M., 2000
S.1-15
CleanRooms Europe Conference <3, 2000, Frankfurt/M.>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Oberflächenreinheit; Oberflächenpartikelmesstechnik; Reinigungsvalidierung; Partikelmessung; Oberfläche; Überwachung; Bauteil; Reinraum; Teilchen

Abstract
Die Reinraumtechnik ist aus der Fertigung innovativer Produkte in vielen Branchen wie der Halbleiterindustrie, der Optoelektronik, der Mikrotechnik, der Pharmazie und der Luft- und Raumfahrttechnik nicht mehr wegzudenken. Neben der Messung der Luftreinheit spielt die Kontaminationsdetektion auf den Oberflächen der gefertigten Produkte oder den Flächen der Produktumgebung eine zentrale Rolle für die Qualitätssicherung. Hierzu werden mehrere etablierte und ein neues nach dem Streiflichtprinzip arbeitendes Prüfverfahren vorgestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-3936.html