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2000
Conference Paper
Titel
Präzisionsreinigung von Mikrostrukturen mittels UV-Laser
Alternative
UV-laser Precision Cleaning of Microstructures
Abstract
Neben den bekannten Anwendungen der Lasertechnik zur Materialbearbeitung, zur Datenübertragung und in der Messtechnik bietet sich der Laser auch als Werkzeug für die Reinigung an. Für kleinste und empfindlichen Strukturen, wie sie im Bereich der Mikrotechnik gefertigt werden, können Laser im ultravioletten Spektralbereich für eine gründliche und zugleich schonende Reinigung eingesetzt werden. Vorgestellt wird die Wirkungsweise der Laserreinigung und einigen Anwendungsbeispiele aus der Mikrotechnik.
Konferenz