Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Präzisionsreinigung von Mikrostrukturen mittels UV-Laser

UV-laser Precision Cleaning of Microstructures
 
: Rochowicz, M.; Grimme, R.; Schäfer, W.

Rochowicz, M.; Werner, D. ; Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart; Schall Kongreß GmbH:
Präzisionsreinigung und Teilereinigung : Fachseminar begleitend zur 2. CleanTech Europe 2000, 28. -29. Juni 2000, Frankfurt/M.
Frankfurt/M., 2000
CleanTech Europe <2, 2000, Frankfurt/M.>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Mikrosystemtechnik; lokale Reinigung; Reinraum; Kontamination

Abstract
Neben den bekannten Anwendungen der Lasertechnik zur Materialbearbeitung, zur Datenübertragung und in der Messtechnik bietet sich der Laser auch als Werkzeug für die Reinigung an. Für kleinste und empfindlichen Strukturen, wie sie im Bereich der Mikrotechnik gefertigt werden, können Laser im ultravioletten Spektralbereich für eine gründliche und zugleich schonende Reinigung eingesetzt werden. Vorgestellt wird die Wirkungsweise der Laserreinigung und einigen Anwendungsbeispiele aus der Mikrotechnik.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-3935.html