Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Simulation und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen elektrostatischen Aktors

 
: Kaiser, Bert
: Schenk, Harald; Bestehorn, Michael; Kupnik, Mario

Cottbus-Senftenberg, 2016, XII, 161 S.
Cottbus-Senftenberg, TU, Diss., 2016
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-389520.html