Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Stamps for nanoimprint lithography - R&D at Fraunhofer IISB

Presentation held at NIL Industrial Day 2016, Vienna, March 10th - 11th, 2016
 
: Rommel, Mathias; Rumler, Maximilian; Förthner, Michael; Scharin, Marina; Fader, R.; Schmidt, H.

:
Präsentation urn:nbn:de:0011-n-3894607 (2.1 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: baf2dbaae8324b8c268fac44933233df
Erstellt am: 28.4.2016


2016, 23 Folien
NIL Industrial Day <2016, Vienna>
Englisch
Vortrag, Elektronische Publikation
Fraunhofer IISB ()
nanoimprint lithography; S&R NIL; UV-SCIL; PDMS; soft imprint lithography

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-389460.html