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Title
Mikromechanische piezoelektrische Aktuatoren zur Realisierung hoher Kräfte und Auslenkungen
Date Issued
2016
Author(s)
Wagner, Bernhard
Patent No
102014217798
Abstract
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung schaffen ein MEMS mit einer Membran, einer Hubstruktur, die mit der Membran gekoppelt ist, und zumindest zwei piezoelektrischen Aktuatoren, die über eine Mehrzahl von voneinander beabstandeten Verbindungselementen mit einer Mehrzahl von voneinander beabstandeten Kontaktpunkten der Hubstruktur verbunden sind, wobei die zumindest zwei piezoelektrischen Aktuatoren ausgebildet sind, um eine Hubbewegung der Hubstruktur hervorzurufen, um die Membran auszulenken.
The invention relates to a MEMS, comprising a membrane, a reciprocating structure, which is coupled to the membrane, and at least two piezoelectric actuators, which are connected, by means of a plurality of connecting elements spaced apart from each other, to a plurality of contact points of the reciprocating structure spaced apart from each other, wherein the at least two piezoelectric actuators are designed to cause a reciprocating motion of the reciprocating structure in order to deflect the membrane.
Language
de
Patenprio
DE 102014217798 A1: 20140905