Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Large-field particle beam optics for projection and proximity printing and for maskless lithography

 
: Löschner, H.; Stengl, G.; Buschbeck, H.; Chalupka, A.; Lammer, G.; Platzgummer, E.; Vonach, H.; Jager, P.W.H. de; Käsmaier, R.; Ehrmann, A.; Hirscher, S.; Wolter, A.; Dietzel, A.; Berger, R.; Grimm, H.; Terris, B.D.; Brünger, W.H.; Gross, G.; Fortagne, O.; Adam, D.; Böhm, M.; Eichhorn, H.; Springer, R.; Butschke, J.; Letzkus, F.; Ruchhöft, P.; Wolfe, J.C.

:

Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems 2 (2003), Nr.1, S.34-48
ISSN: 1537-1646
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-38301.html