Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Effect of copper on the breakthrough voltage of Poly-Si - Poly-Si capacitors

 
: Boehringer, M.; Pillion, J.E.; Erdmann, V.; Rygula, M.; Winz, K.; Brauchle, P.; Aquino, D.; Zhang, H.; Zahka, J.; Zielonka, G.; Hauber, J.

Heyns, M.:
Ultra clean processing of silicon surfaces 2000 : Proceedings of the Fifth International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS 2000), held in Ostend, Belgium, September 18 - 20, 2000
Uetikon-Zürich: Scitec Publications, 2001 (Diffusion and defect data. B, Solid state phenomena 76/77)
ISBN: 3-908450-57-8
S.279-282
International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS) <5, 2000, Ostende>
Englisch
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-38081.html