Fraunhofer-Gesellschaft

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Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis

 
: Külls, R.
: Hiermaier, Stefan; Thoma, K.

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Stuttgart: Fraunhofer Verlag, 2016, 193 S.
Zugl.: München, Univ., Diss., 2015
Epsilon. Forschungsergebnisse aus der Kurzzeitdynamik, 28
ISBN: 978-3-8396-0902-6
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer EMI ()
applied physics; mechanical engineering & materials; MEMS; Beschleunigung; Sensorik; design; Schock; Wissenschaftler und Ingenieure in Forschung und Industrie; Student

Abstract
In dieser Dissertation wird eine Methodik zur Entwicklung von Beschleunigungssensoren, die speziell hochfrequente Belastungen hoher Amplitude messen sollen, vorgestellt. Mithilfe der Methodik, welche gleichzeitig Sensitivität und Bandbreite des Sensors optimiert, wird ein piezoresistives Design entwickelt und gefertigt, das höhere Leistungsdaten aufweist als existierende Lösungen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-379206.html