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Konferenzschrift
Simulation von Plasmaprozessen
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2015
Conference Paper
Titel
Simulation von Plasmaprozessen
Author(s)
Pflug, A.
Hauptwerk
Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte
Konferenz
Seminar "Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte" 2015
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST