Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Magnetron-Zerstäubung für präzise optische Beschichtungen

 
: Vergöhl, M.

Ostbayerisches Technologie-Transfer-Institut e.V. -OTTI-, Regensburg; Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik -IST-, Braunschweig:
Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte : Seminar, 25. - 26. Februar 2015, Braunschweig
Regensburg: OTTI, 2015
S.49-85
Seminar "Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte" <2015, Braunschweig>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-378874.html