Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Evolution of intrinsic stress in nanocrystallin diamond film deposited by continuous H+ ion-bombardment

 
: Gu, C.Z.; Jiang, X.

:

Journal of vacuum science and technology B. Microelectronics and nanometer structures 21 (2003), Nr.5, S.2114-2119
ISSN: 0734-211X
ISSN: 1071-1023
ISSN: 2166-2746
ISSN: 2166-2754
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-37856.html