Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Trace analysis for 300 mm wafers and processes with total- reflection x-ray-fluorescence

 
: Nutsch, A.; Erdmann, V.; Zielonka, G.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.

:

Spectrochimica acta. B 56 (2001), Nr.11, S.2301-2306
ISSN: 0038-6987
ISSN: 0584-8547
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-37793.html